Rozvodný kroužek plynu pro povlakování čipů

Gasverteilerring Chip Systems

Větší přesnost, méně energie – Keramický kroužek způsobuje revoluci v povlakování destiček

Co začalo jako nápad, se stalo technologickou inovací: Společně se společností Plasway Technologies vyvinula společnost Alumina Systems keramický rozvodný kroužek plynu, který nejenže pracuje bez koroze, ale také umožňuje rychlejší, rovnoměrnější a energeticky úspornější procesy.

Od sprchové hlavice k vysoce výkonné keramike: Nový standard v polovodičové technologii

Partnerství s Impact: Jak se z vize stala oceňovaná součástka. V roce 2016 oslovil Stephan Wege, výkonný ředitel společnosti Plasway Technologies GmbH, společnost Alumina Systems s jasnou myšlenkou: vyvinout novou, odolnou a multifunkční součástku pro nejnovější generaci systémů ALD (Atomic Layer Deposition) pro polovodičový průmysl. Konvenční systémy s kovovými sprchovými hlavicemi jsou nejen náchylné ke korozi, ale také umožňují pouze povlakování, nikoli leptání. Proces povlakování navíc probíhá při výrazně vyšších teplotách a v přímém srovnání je pomalejší a méně rovnoměrný, což vyžaduje více procesního plynu a energie.

Úzká spolupráce při vývoji vedla k vytvoření kompletně přepracovaného kroužku pro rozvod plynu z aluminové keramiky – průlomu v tomto odvětví.

High-tech keramika: přesná, robustní a modulárně rozšiřitelná

První prototyp byl vyroben v roce 2017: kroužek o průměru 380 mm, vyrobený metodou lití za tepla, s pájenými optimalizovanými keramickými tryskami vyrobenými na 3D tisku. Dva samostatné vstupy plynu umožňují paralelní použití různých procesních plynů – s rovnoměrným rozvodem a plnou odolností proti korozi.

Od té doby se technologie neustále dále vyvíjí:

  • Dnes jsou možné průměry až 530 mm.
  • Díky segmentované konstrukci jsou možné i keramické kroužky pro rozvod plynu o průměru 1 000 mm.

Výhody na první pohled

  • Zvýšená účinnost
  • O 50 % rychlejší potahování destiček
  • Leptání a potahování v jednom systému
  • Nejvyšší kvalita procesu
  • Výrazně snížené kolísání tloušťky vrstvy
  • Rovnoměrné rozložení plynu díky přesným tryskám
  • Snížené procesní teploty: od 400 °C do 200 °C až do -40 °C
  • Maximální životnost
  • Vysoká odolnost keramiky proti korozi