Za každým výrobkem stojí geniální myšlenka.
Za každým výrobkem stojí geniální myšlenka.
Keramický kroužek pro distribuci plynu pro nanášení povlaků na třísky procesem PE-ALD (plazmově vylepšená atomová depozice) je jednou z nejsložitějších součástí, které kdy společnost Alumina Systems vyrobila. Kroužek z oxidu hlinitého má značný průměr 380 mm a skládá se ze tří horizontálně rozdělených kroužků spojených skleněnou pájkou. Kromě toho byly pro vnitřní distribuci plynu současně připájeny 3D tištěné keramické trysky vyrobené z 99,99 % Al₂O₃. Kroužek může zásobovat povlakovací komoru dvěma plyny (prekurzory) současně a je přesto tenčí než původní verze navržená pro jeden plyn.
Aby to bylo ještě složitější, plynové připojení prekurzorů využívá titanovou trubici, která je následně připájena ke dvěma 3D tištěným trubkám z nerezové oceli. Oba kovové pájené spoje se nanášejí pomocí následného aktivního pájecího procesu. Všechny spojovací procesy jsou kaskádovitě teplotně řazeny, to znamená, že proces s nejvyšší teplotou musí být proveden jako první a následné procesy musí probíhat při postupně nižších teplotách, aby se zabránilo selhání předchozích pájených spojů. S výjimkou kovových dílů byly komponenty a spojovací procesy vyrobeny a provedeny ve společnosti Alumina Systems v Redwitzu.
Horizontálně dělené kroužky musí po slinování splňovat relativně úzké tolerance rovinnosti a kulatosti; jinak to nelze z technologických důvodů korigovat během následného procesu broušení. Dosažení tohoto cíle není snadné kvůli procesu smrštění přibližně o 20 %. Lavalovy trysky také představovaly výzvu, protože by nemohly být vyrobeny bez 3D tisku. Celý kroužek je navíc těsný proti héliu až do 10⁻⁸ mbar·L/s.