Die Alumina Systems GmbH präsentierte sich gemeinsam mit der Firma Plasway auf der diesjährigen SEMICON mit einem modernen und technisch klar fokussierten Messestand. Im Zentrum stand ein besonderer Blickfang: Der Demonstrator der Fast Atomic Layer Processing (FALP) Anlage. Herzstück der Anlage ist mittels 3D-Druck erstelle keramische Gasverteilerring. Diese FALP-Anlage stellt die kommende Generation von Beschichtungsanlagen bei der Halbleiterfertigung dar.
Der keramische Gasverteilerring ist das Ergebnis einer engen Zusammenarbeit zwischen Plasway und Alumina Systems. Es ist technologischer Meilenstein. Bereits die erste Version dieses Rings wurde 2018 als „Produkt des Jahres“ von der Fachzeitschrift Ceramic Applications auf der internationalen Ceramitec Messe ausgezeichnet. Auf der SEMICON konnten Besucher die vierte Generation dieses Bauteils live erleben, sich von seiner Leistungsfähigkeit überzeugen und sich über die Vorteile der innovativen Verbindung aus Hochleistungskeramik und Beschichtungstechnologie informieren.
Das Interesse der Fachbesucher war groß: Zahlreiche Gespräche drehten sich um Prozessoptimierung, Materialtechnologien und neue Anwendungsmöglichkeiten. Für Alumina Systems war die Messe ein wertvoller Austausch mit Entscheider:innen und Entwickler:innen der internationalen Halbleiterindustrie – und ein starkes Signal für zukünftige Projekte.
